短波长紫外线放电灯和紫外线照射处理装置

摘要

本发明提供一种短波长紫外线放电灯和紫外线照射处理装置。本发明的目的在于：在具有由氟树脂包覆的绝缘导体、且放射波长在220nm以下的紫外线的放电灯中，能够抑制对人体有害且成为放射光量减少的原因的氟化氢或氢氟酸的产生。本发明的放电灯具有石英玻璃管(31)、配置在其两端的一对电极(32a、32b)、沿着上述石英玻璃管的外壁延伸的导线(60)。上述导线是由金属制的外层构件包覆在由氟树脂构成的绝缘体所包覆的绝缘导体而形成的。紫外线虽照射到上述导线上，但紫外线不照射到氟树脂上，因此不会产生氟化氢或氢氟酸。