应用流化床反应器连续制备多晶硅的方法

摘要

提供了应用流化床反应器连续制备粒状多晶硅的方法，它能通过有效地除去反应器管内壁上累积的硅沉积物而稳定、长期地操作反应器。所述方法包括：(i)硅颗粒制备步骤，其中，在硅颗粒表面上发生硅沉积，而硅沉积物在包围反应区的反应器管内壁上累积；(ii)硅颗粒部分排出步骤，其中，将反应器管内残留的硅颗粒的一部分排出流化床反应器，以便硅颗粒的高度不超过反应气体出口的高度；以及(iii)硅沉积物去除步骤，其中，通过将蚀刻气体提供入反应区而除去硅沉积物。