使用单个自混合激光器测量对象和光学输入设备的二维相对运动的方法

摘要

一种用于测量对象(15)和传感器单元之间的相对运动的光学输入设备，包括：具有用于发射测量束(13、17)的激光腔的激光设备(3、5)；对应的辐射敏感检测器(4、6)，用于生成测量信号，其代表作为重新进入激光腔的测量束辐射的结果而导致的激光设备(3、5)操作中的变化。提供了传感器单元用于测量沿作用平面中的每个测量轴的相对运动，从一个或每个传感器单元结果得到的测量信号用于通过对测量信号的上升和下降斜坡的偏移频率进行求和来确定输入设备和对象(15)沿横穿作用平面的测量轴相对于彼此的距离和/或运动。