公开/公告号CN101017325A
专利类型发明专利
公开/公告日2007-08-15
原文格式PDF
申请/专利权人 上海中大科技发展有限公司;上海中大印染材料工业有限公司;
申请/专利号CN200710037222.0
申请日2007-02-06
分类号G03F7/004(20060101);G03F7/027(20060101);C09D11/10(20060101);
代理机构上海翼胜专利商标事务所;
代理人刁文魁;翟羽
地址 201702 上海市青浦区沪青平公路徐泾镇诸光路201号
入库时间 2023-12-17 18:59:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-02-10
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-10-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-08-15
公开
公开
机译: 一种成分型液态光致抗蚀油墨成分
机译: 用于形成浸入过程的抗蚀膜的材料,由这种材料制成的抗蚀膜以及使用该抗蚀膜形成抗蚀图案的方法
机译: 用于形成浸入过程的抗蚀膜的材料,由这种材料制成的抗蚀膜以及使用该抗蚀膜形成抗蚀图案的方法