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液态感光抗蚀油墨

摘要

一种液态感光抗蚀油墨,在油墨中引入了增粘树脂组分,以提高油墨的综合耐酸耐碱性,其主要组分包括:羧基化光固化树脂20~70%;填料3~40%;增粘树脂组分0.2~15%;光引发剂0.5~5%;丙烯酸酯类稀释剂2~20%。本发明具有紫外光成像,可碱水显影,耐酸耐碱耐中性蚀刻液,耐各种电镀液的优点,可制作最小线宽为20微米的高精细图形。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-02-10

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2007-10-10

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-08-15

    公开

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