金属导体表面金属涂层的厚度及电导率检测方法及装置

摘要

本发明公开了一种金属导体表面金属涂层的厚度及电导率检测方法及装置，其中，方法包括以下步骤：根据不同涂层厚度、电导率与基底电导率的特性生成归一化视电导率的标准曲线；根据被测特定带涂层导体的等值电导率和不同激励源频率下的电磁波透入深度之间的关系获取等值导电率的实验曲线；确定待测平板的参数，并根据标准曲线和实验曲线计算金属涂层的电导率和厚度基底金属导体的电导率。该方法无需先验实验数据，即可高精度、快速无损的同时检测微米数量级金属涂层厚度、电导率以及基底电导率，简单易实现。