谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器

摘要

本发明公开了一种谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器，该温/湿度传感器由温度传感器和湿度传感器平行共面集成在一起，包括复合压电基底层、叉指换能器、反射栅阵、表面压电波导层，反射栅阵形成谐振腔，温度传感器和湿度传感器具有相同的谐振器结构和表面压电波导层结构，在湿度传感器的表面压电波导层上方集成有纳米湿敏材料。本发明由于声表面波无源无线传感器具有非接触、无电源、抗干扰、保密性好、成本低等优点，已广泛应用于许多领域。通过使用不同工作频段的温/湿度传感器阵列，传感器阵列无需引线连接，可分布于不同的工作地点，应用不受限制，特别适合一些应用环境复杂和恶劣的场合。