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光学器件

摘要

在光学器件中,第1、第2、第3和第4可动梳齿电极在从第1方向看的情况下分别配置于第1支承部与第2方向上的可动部的一侧的第1端部之间、第2支承部与第2方向上的可动部的另一侧的第2端部之间、第3支承部与可动部的第1端部之间和第4支承部与可动部的第2端部之间。第1和第2支承部分别具有以其厚度大于第1扭力杆的厚度的方式形成的第1梁部和第2梁部。第3和第4支承部分别具有以其厚度大于第2扭力杆的厚度的方式形成的第3梁部和第4梁部。

著录项

  • 公开/公告号CN111344623A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-06-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浜松光子学株式会社;

    申请/专利号CN201880073424.7

  • 发明设计人 杉本达哉;铃木智史;港谷恭辅;

    申请日2018-09-04

  • 分类号G02B26/08(20060101);B81B3/00(20060101);G02B26/10(20060101);H02N1/00(20060101);

  • 代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人杨琦

  • 地址 日本静冈县

  • 入库时间 2023-12-17 10:16:29

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/08 申请日:20180904

    实质审查的生效

  • 2020-06-26

    公开

    公开

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