电泵浦的切向偏振矢量光束激光器

摘要

本发明涉及半导体激光器技术领域，提出了一种电泵浦的切向偏振矢量光束激光器。该激光器的谐振腔腔体为支持横电模式回音壁模式的微柱或微环。包括上欧姆接触层、光栅层、上盖层、有源区、下盖层、下欧姆接触层和衬底。光栅层位于微柱腔的顶部，不包含有源区，光栅层上设有刻蚀深度的厚度不超过400纳米的浅刻蚀光栅，上盖层位于光栅层下方，厚度为几百纳米。该激光器制作简便，只需要一次浅刻蚀二阶光栅就可以实现激光器的单模工作和面发射输出，输出为切向偏振的矢量光束。本发明具有小体积、低成本、易于集成二维阵列、单模工作、阈值电流低、输出光易与光纤耦合、可以在不同的材料体系上实现、制作简单等诸多优点。