一种降低太阳能电池片载流子衰减的方法、设备及太阳能电池

摘要

本发明公开了一种降低太阳能电池片载流子衰减的方法，其包括：(1)降低太阳能电池片的光致衰减；(2)将太阳能电池片在300‑600℃进行退火；(3)将太阳能电池片预热至250‑450℃；(4)将太阳能电池片在第一温度范围内进行第一光照处理，持续第一时间；(5)将太阳能电池片在第二温度范围内进行第二光照处理，持续第二时间；其中，所述第一温度范围的最高温度≥所述第二温度范围的最高温度；所述第一时间≤所述第二时间。本发明通过退火、预热、高温光热处理、低温光热处理的工序，有效降低了氢化衰减和杂质引起的载流子衰减，同时促进H和B‑O复合体由不稳定态再生恢复为钝化稳定态，从而有效降低太阳能电池的CID衰减率。