用于进行高效低温涂覆的涂覆设备

摘要

本发明涉及涂覆设备，包括用于进行真空涂覆过程的真空涂覆室，所述真空涂覆室包括：一个或多个被冷却室壁(1)，其具有内侧(1b)和被冷却侧(1a)；保护屏蔽部件，其作为一个或多个遮挡所述一个或多个被冷却室壁(1)的内侧(1b)的表面的至少一部分的可移除屏蔽板(2)布置在该室内，其中，至少一个可移除屏蔽板(2)相对于被所述可移除屏蔽板(2)遮挡的被冷却室壁(1)的内侧(1b)的表面形成间隙(8)地安放，其中，多个导热机构(9)以对应于被所述可移除屏蔽板(2)遮挡的被冷却室壁(1)的内侧(1b)的整个表面的至少一部分的程度填充该间隙(8)地布置，其中该导热机构(9)允许在所述可移除屏蔽板(2)与各自所遮挡的被冷却室壁(1)之间的导热传递。