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晶体原料盛载装置及晶体生长装置

摘要

本发明提供了一种晶体原料盛载装置及晶体生长装置,涉及晶体生长设备的技术领域,晶体原料盛载装置包括依次水平相邻紧靠设置的多个承载单元,多个承载单元中包括对应于远离籽晶承载装置上的籽晶的小平面的一端设置的第一承载单元;沿远离籽晶的小平面的一端向靠近籽晶的小平面的一端的方向,从第一承载单元至位于第一承载单元靠近籽晶的小平面的一侧的承载单元,每个承载单元能够承载的原料的高度依次降低;本发明能够降低小平面位置的多型转变几率,提高晶体良率。

著录项

  • 公开/公告号CN111349971A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-06-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 福建北电新材料科技有限公司;

    申请/专利号CN202010235219.5

  • 发明设计人 陈泽斌;王旻峰;廖弘基;陈华荣;

    申请日2020-03-30

  • 分类号C30B35/00(20060101);C30B29/36(20060101);C30B23/00(20060101);

  • 代理机构11646 北京超成律师事务所;

  • 代理人陈治位

  • 地址 362200 福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦

  • 入库时间 2023-12-17 09:29:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B35/00 申请日:20200330

    实质审查的生效

  • 2020-06-30

    公开

    公开

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