用于臭氧气体传感器的气敏传感器件以及制备方法

摘要

本发明提供一种用于臭氧气体传感器的气敏传感器件，所述气敏传感器件包括氧化物半导体薄膜和分散在该氧化物半导体薄膜表面上的纳米颗粒，所述纳米颗粒对臭氧气体具有响应能力并且其电导率高于所述氧化物半导体薄膜的电导率。本发明还提供了一种制备用于臭氧气体传感器的气敏传感器件的方法，所述方法包括如下步骤：1)制备氧化物半导体薄膜；2)在室温条件下，在所述氧化物半导体薄膜的表面上生长分散的纳米颗粒。本发明提供的臭氧气体传感器通过调控纳米颗粒的尺寸、密度和分布，改善臭氧浓度传感器的各项响应性能，操作简单，易实现产业化。