公开/公告号CN110927885A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-27
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201911211863.2
申请日2019-11-29
分类号G02B6/293(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人吴梦圆
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-12-17 07:21:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B6/293 申请日:20191129
实质审查的生效
2020-03-27
公开
公开
机译: 使用弓形束微谐振器的可调谐窄带通MEMS技术滤波器
机译: 用于窄带通滤波器的SAW元件-使用谐振器级联,每个谐振器具有由各自的压电基板支撑的叉指式换能器和带状反射器
机译: 用于频谱分析或光源模式控制的谐振器光谱仪-包括带可变谐振频率光学环形谐振器的窄带滤波器