公开/公告号CN102976260A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-03-20
原文格式PDF
申请/专利权人 高通MEMS科技公司;
申请/专利号CN201210568564.6
申请日2005-09-23
分类号B81B3/00;
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人王允方
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 16:54:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-25
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B81B3/00 申请公布日:20130320 申请日:20050923
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-04-17
实质审查的生效 IPC(主分类):B81B3/00 申请日:20050923
实质审查的生效
2013-03-20
公开
公开
机译: 使用具有非平坦部分的背板来保护微机电系统阵列的系统和方法
机译: 使用具有非平坦部分的背板保护微机电系统阵列的系统和方法
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