用于检查设备的照射源、检查设备及检查方法

摘要

披露了一种照射源设备，包括高阶谐波产生介质(910)、泵浦辐射源以及空间滤光器(940)。该泵浦辐射源发射泵浦辐射束(950)，该泵浦辐射束具有在所述束的中心区中不包括泵浦辐射的轮廓且激发该高阶谐波产生介质以便产生高阶谐波辐射(920)。该泵浦辐射及所产生的高阶谐波辐射在该泵浦辐射束的焦平面之外是空间上分离的。该空间滤光器位于该泵浦辐射束的焦平面之外，且阻挡该泵浦辐射。还披露一种产生高阶谐波测量辐射的方法，该高阶谐波测量辐射被优化以用于将泵浦辐射从其中滤掉。