一种基于六方氮化硼纳米片的二氧化氮检测用气敏元件及其制备方法和应用

摘要

本发明提供了一种基于六方氮化硼纳米片的二氧化氮检测用气敏元件及其制备方法和应用，属于半导体材料技术领域。本发明以六方氮化硼纳米片作为气敏材料，利用六方氮化硼纳米片高导热率、低热膨胀系数、低介电常数、高化学稳定性、强高温抗氧化性和高比表面积的性质，以其制备的二氧化氮检测用气敏元件，除具有灵敏度高、选择性好、重复性佳的优点，还适合在高温条件下工作。实施例结果表明，本发明提供的气敏元件用于二氧化氮检测时，其响应时间为18s，恢复时间为13.5s，最佳工作温度为425℃。同时，本发明提供的制备方法操作简单，成本低廉，易于实现工业化生产。