单光子雪崩光电二极管阵列探测器

摘要

本发明提供了一种单光子雪崩光电二极管阵列探测器，包括：传感器芯片，其包括至少一个雪崩光电二极管；信号控制与读出芯片，其通过倒装焊方式、或引线键合方式、或中介层方式与传感器芯片集成在一起，以使得雪崩光电二极管与信号控制与读出芯片电气连接；信号控制与读出芯片包括：I/O端口，其用于读入来自雪崩光电二极管的电平信号，并向雪崩光电二极管输出电平信号；主动逻辑，其基于从雪崩光电二极管读入的电平信号触发内部逻辑，从而向雪崩光电二极管输出淬灭信号以及复位信号；以及数字信号读出电路，用于读出从雪崩光电二极管取样的电信号。本公开能够提高探测器的填充因子，降低制作成本，缩短研发周期，适应性更好。