用于测量平晶绝对面形的激光干涉校准测量设备及方法

摘要

本发明提供了一种用于测量平晶绝对面形的立式激光干涉测量设备以及方法。本发明的立式激光干涉测量设备包括：设备主体，具有准直透镜；参考平晶承载装置；平晶旋转承载装置，与参考平晶承载装置同光轴设置，用于作为在水平式测量状态时的待测平晶承载装置；以及平晶承托装置，替代平晶旋转承载装置，用于作为在立式测量状态时的待测平晶承载装置，其中，平晶旋转承载装置具有固定盘、旋转承载部以及限定部，限定部用于在旋转盘切换至第一位置时将旋转盘限定在第一位置以及在旋转盘切换至第二位置时将旋转盘限定在第二位置，平晶承托装置具有安装座以及承托部，承托部设置在安装座上，包含承托构件，承托构件具有软性的承托平面。