一种激光检测式四探针原子力显微镜

摘要

本发明涉及原子力显微镜技术领域，公开一种激光检测式四探针原子力显微镜。所述激光检测式四探针原子力显微镜包括两组第一激光组件、两组第二激光组件、两组第一探针组件、两组第二探针组件和光学组件，第一激光组件包括发射第一激光的第一激光器，第二激光组件包括发射第二激光的第二激光器，第一激光与第二激光的方向不同，光学组件能够使第一激光聚焦于第一探针，且能够使第二激光聚焦于第二探针。本发明采用四组探针组件，消除了接触电阻对被测样品本征电阻率的影响，且可以通过一次测量便可获得样品本征电学性质；每组探针组件可以选用不同功能的探针，实现对被测样品同一区域热、电等多物理场性质的同步表征。