一种硬脆材料激光精密加工装备

摘要

本发明公开了一种硬脆材料激光精密加工装备，包括基座，基座上设有激光器，所述激光器内包括半导体侧泵模块，该半导体侧泵模块上设有第一光路输出端和第二光路输出端；半导体侧泵模块的第一光路输出端外依次设有声光开关、第一细孔光阑和第一全反镜，所述第二光路输出端外依次设有偏振组合片、第二细孔光阑和输出镜；基座上设有沿激光器的输出端光路依次设置的扩束镜、装有聚焦镜的切割头和夹具；基座上设有摄像头和与夹具连接的水平移动机构。本发明提供的硬脆材料激光精密加工装备，其光束的质量高且稳定，在硬脆材料上的切割面光滑，能实现精确切割。