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用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法

摘要

提供了用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造的基板(10)上的设备(100)。所述设备(100)包括工艺头部组件(110),所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动,并且所述工艺头部组件包括:一个或更多个沉积装置(120),所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网(154)传送到所述基板(10);和两个或更多个材料处理装置(130),所述两个或更多个材料处理装置用于处理所述丝网(154)上的所述材料。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-02-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20170428

    实质审查的生效

  • 2019-01-11

    公开

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