超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积法及由该沉积法制造的发光显示装置

摘要

本申请涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积法及由该积法制的发光显示装置。超精细图案沉积设备包括基底基板、光热转换器、源部和光反射器。光热转换器容置在基底基板中并将光能转换成热能。源部设置在光热转换器上。光反射器包括具有侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以基于光反射器与基底基板之间的折射率差而反射输入到其的外部光并且将从源部发射的源引导至目标区域。