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全场干涉成像系统和全场干涉成像方法

摘要

根据一个方面,本发明涉及一种用于对样本(S)成像的全场干涉成像系统(100),所述全场干涉成像系统包括:具有光源(111)的照明通道(101);干涉仪(103),所述干涉仪具有至少一个第一物镜(112)和分开元件(130),所述分开元件用于经由输入面(130

著录项

  • 公开/公告号CN109496262A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 国立科学研究中心;

    申请/专利号CN201780046199.3

  • 发明设计人 E·奥克斯欧利乌斯;A·C·博卡拉;

    申请日2017-07-25

  • 分类号

  • 代理机构永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人马文斐

  • 地址 法国巴黎

  • 入库时间 2024-02-19 08:55:43

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B9/02 申请日:20170725

    实质审查的生效

  • 2019-03-19

    公开

    公开

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