用于检查设备的照射源、检查设备和检查方法

摘要

公开了一种用于生成检查设备的测量辐射的照射源。源生成至少第一测量辐射和第二测量辐射，从而第一测量辐射和第二测量辐射干涉，以形成采用拍频分量调制的经组合的测量辐射。照射源可以是HHG源。也公开了一种包括该源的检查设备以及相关联的检查方法。