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公开/公告号CN109216266A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-15
原文格式PDF
申请/专利权人 华南理工大学;
申请/专利号CN201811050916.2
发明设计人 徐苗;周雷;彭俊彪;王磊;邹建华;陶洪;
申请日2018-09-10
分类号H01L21/768(20060101);H01L27/12(20060101);B23K26/21(20140101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人孟金喆
地址 510700 广东省广州市天河区五山路381号
入库时间 2024-02-19 07:41:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20180910
实质审查的生效
2019-01-15
公开
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