一种椭圆偏振光测量装置及测量方法

摘要

本发明提供一种椭圆偏振光测量装置，其包括依次经光路连接的光源、起偏器、样品架、集成检偏器以及探测器组件；所述样品架用于放置待测样品，光源发出的光线经过起偏器照射到待测样品，待测样品将光反射到所述集成检偏器；所述集成检偏器包括多个偏振器，每个偏振器的方位角在0‑180°之间分布，从待测样品反射出来的光线入射到偏振器；所述探测器组件包括多个探测器，所述探测器与所述偏振器一一对应设置，独立检测每一偏振器的光学信号。本发明所提供的高速椭圆偏振光测量系统具有采样效率更高，可以快速获取偏振器接近纳秒级别的高速动态参数的优点，本发明还提供一种椭圆偏振光测量方法。