一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法

摘要

本发明涉及一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法，属于激光系统光束质量控制技术领域，所述装置包括波前传感器、变形镜、控制器、缩束系统、分光镜和反射镜，待校正的入射激光束经分光镜后透射至变形镜，经变形镜反射回的入射激光束经分光镜后分为取样光束和输出光束，取样光束依次入射至反射镜、缩束系统和波前传感器，本发明通过改变缩束系统对取样光束的缩束比，调节入射到波前传感器上的取样光束口径，得到若干组不同口径取样光束的波前畸变，并分别利用变形镜进行波前校正得到若干组不同的波前校正电压，最后对波前畸变和波前校正电压取平均值，得到入射激光束的精准波前畸变和精准波前校正电压，校正结果精度高。