用于坐标测量机的光学粗糙度传感器

摘要

本发明涉及一种用于坐标测量机的光学粗糙度传感器(10)，包括：用于耦合输入和解耦光学有效辐射的光束耦合单元(11)，用于通过有效辐射的参考辐射分量提供参考路径和干涉参考信号的本地参考振荡器件，包括第一光束通过窗的第一解耦路径，第一光束通过窗用于有效辐射的测量辐射分量(17)的双向透射，从而该测量辐射分量(17)能被对准至待测目标表面且该测量辐射分量(17)的反射能被获得，关于目标表面的表面信号能由反射的测量辐射分量(17)提供。该参考路径和解耦路径(12)如此布置和相互作用，所述参考信号和表面信号干涉并且能基于所述参考信号额表面信号的干涉得到粗糙度信号。