工件清洁装置以及工件清洁方法

摘要

本发明提供一种能够抑制溶剂蒸气的损失的工件清洁装置。工件清洁装置(1)具备输入输出室(8)、以及配置于输入输出室(8)的下方的处理室(9)，输入输出室(8)的输入输出口(4)由外门(6)封闭，输入输出室(8)与处理室(9)的连通口(50)由作为内门的内门(11)封闭。在处理室(9)内的底侧配置有清洁槽(12)，在清洁槽(12)的上侧形成有蒸气清洁区域(14)，在蒸气清洁区域(14)的上侧形成有具备冷却盘管的冷却干燥区域(16)。对外门(6)和作为内门的内门(11)独立地进行开闭控制，从而，在清洁动作中，不会形成为处理室(9)经由输入输出室(8)而与外部连通的状态。