Возможности диагностики нескольких типов дефектов кристалла на основе эффекта различного влияния дефектов разного типа на деформационную зависимость полной интегральной интенсивности динамической дифракции

摘要

В работе установлено и количественно проанализировано различие деформационных зависимостей (ДЗ) когерентной (Rib) и диффузной (Rid) составляющих полной интегральной интенсивности динамической дифракции (ПИИДД) как между собой, так и для каждого из нескольких типов дефектов, одновременно присутствующих в монокристаллическом образце. Это открывает принципиальную возможность определения параметров дефектов разного типа при использовании (наряду с вариацией условий дифракции) различных участков ДЗ ПИИДД с резкой ДЗ Rid/Rib (вклада диффузной составляющей). Показано, что при изменении условий Лауэ-дифракции от соответствующих приближению толстого кристалла к соответствующим приближению тонкого кристалла и при расширении области изменения степени упругой деформации появляется возможность управления интервалом и характером изменения отношения Rid/Rib, а в результате – чувствительностью ДЗ ПИИДД к типу и характеристикам микродефектов.