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Numerical simulations for quantitative analysis of electrostatic interaction between atomic force microscopy probe and an embedded electrode within a thin dielectric: meshing optimization, sensitivity to potential distribution and impact of cantilever contribution

机译:薄电介质中静电相互作用的定量分析数值模拟:薄电介质内的嵌入电极:啮合优化,敏感性与悬臂贡献的潜在分布及影响

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