Plasmadiagnostik mit Hilfe von stoßbestimmten elektrostatischen Kugelsonden

摘要

In der Plasmadiagnostik werden häufig Messungen mit elektrosta-tischen Sonden zur Ermittlung der Plasmaparameter, wie der Elektronentemperatur, der Elektronendichte und des Plasmapo¬tentials durchgeführt. Für kleine Drücke (p ≤ 1 Torr) bewegen sich die Ladungsträger innerhalb der Grenzschicht zwischen dem Plasma und der Sonde stoßfrei. Daher ist die Bestimmung der Plasmaparameter aus der mit der Sonde aufgenommenen Strom-Spannungscharakteristik leicht möglich.nIn dieser Arbeit wird gezeigt, daß mit Hilfe einer kürzlich entwickelten Theorie auch im Falle einer stoßbestimmten Grenz¬schicht Sondenmessungen zur Ermittlung der Plasmaparameter geeignet sind. Zur Unterscheidung der stoßfreien und stoßbe¬stimmten Bereiche einer Grenzschicht ist ein Diagramm angege¬ben.