HARMST '99 - LIGA bekommt Konkurrenz

摘要

Vom 13. bis 15. Juni 1999 fand die dritte Konferenz uber MikroStrukturen mit hohen Aspektverhaltnissen statt (High Aspect Ratio Microstructure Technology -HARMST). Nach Europa und USA war dieses Mal Japan, das Land mit den meisten Mikrostrukturaktivita-ten in Asien, an der Reihe. Die Konferenz wurde sehr gut von Dr. Umeda (National Research Laboratory of Metrology, Japan) vorbereitet und organisiert, Chairman des Organizing Committees war Prof. Nakajima (Universitat Tokyo). Als Konferenzort hatten die Veranstalter Kisarazu/Chiba im Grossraum Tokio gewahlt. Das dortige Konferenzzentrum Kazusa liegt im Herzen eines neu gegrundeten Technologieparks, der bis jetzt noch keine Mikrotechnikaktivitaten beherbergt. Aus diesem Grund war es nur schwer moglich, den Konferenzbesuch mit einer Besichtigung des einen oder anderen Forschungsinstitutes zu verbinden. Leider war offensichtlich auch das Interesse an den zwei angebotenen Touren (Mikromontage bei Seiko und verschiedene Synchrotronaktivitaten in ganz Japan) nicht sehr gross, so dass diese beiden Touren ausfielen.