Die mit einem piezoelektrischen Schreitantrieb ausgestatteten Lineartische der Serie N-565 sind 65 mm breit und nur 20 mm hoch und arbeiten mit Stellwegen von 13, 26 oder 52 mm. Die L?nge variiert in Abh?ngigkeit von den Stellwegen und betr?gt 80, 110 oder 160 mm. Als Wegmesssystem für die Positionsregelung wird ein selbst entwickelter optischer Linearencoder eingesetzt, der auf einem integrierten Mach-Zehnder Interferometer ba-siert. Dieses Messprinzip er-m?glicht eine Aufl?sung von 0,5 nm und eine kleinste Schrittweite von 2 nm. Der piezoelektrische Antrieb ist selbsthemmend; wird die Zielposition erreicht oder das System ausgeschaltet, verharrt die Positioniereinheit stromlos stabil und zeigt keine W?rmeentwicklung. Die Haltekraftkraft des Positioniertischs betr?gt 10 N, die maximale Geschwindigkeit liegt bei 10 mm/s. Die Lineartische erfüllen somit wichtige Anforderungen an die Positionierung von beispielsweise Proben, Optiken oder mechanischen Komponenten in der Mikroskopie, in der Halbleiterindustrie, bei Laseraufbauten oder bei Anwendungen im Vakuum.
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