製造装置の待機エネルギー半減へ可視化で工場設備を最適設計

摘要

LSI工場の省エネルギーに向けて，工場設備や製造装置のエネルギー消費量の詳細な解析が進んでいる。 製造装置では，プロセス時とほぼ同じエネルギーを，待機時に消費していることが分かつてきた。 工場設備に関しては，LSI工場のエネルギー消費量を可視化することで，設備設計時の見積もり精度を高めて初期投資を抑えることができる可能性がある。 製造装置の待機状態に関する検討結果と，可視化手法による工場設備の最適化について,この分野で実績を上 げている東芝が解説する。