電子顕微鏡もモバイルの時代へMEMSで親指大の光学系を実現

摘要

持ち運び可能な超小型の走査型電子顕微鏡（SEM）が実現した。 MEMS（micro electro mechanical systems）技術を駆使し，SEMを構成するレンズ系や真空ポンプを小型化した。 電子顕微鏡は大型，高価で移動不可能という固定概念を打ち壊し，その応用分野を広げる可能性を提示したことになる。例えば，LSIの量産現場への導入によって，製造過程の各段階でSEMによりチップの欠陥を解析できるようになる。 さらに，SEMはナノテクノロジ，生物，医療，新素材分野などあらゆる技術領域で使われる観察装置であり，それぞれの分野でこれまでとは全く違ったSEMの利用法が生まれてくる可能性がある。