65nmLSIに向けて開発進む検査#12539;分析装置: アウトソーシング#12539;サービスへの関心も高まる

摘要

65nmの技術を使ったLSIの量産に向けて検査#12539;分析および測定装置の開発が進んでいる。 微細化とともに，多くの装置において性能を高める必要が出てきたからだ。 SEM（走査型電子顕微鏡）では分解能や感度などが足りなくなってきた。 微細化にともなって集積した素子のアスペクト比が高くなるためSEMによる3次元観察の重要さも増している。 新材料の導入が進むことから材料の組成を調べる装置の性能向上も欠かせない。 一方で，検査#12539;分析に要する負担を軽減するためのアウトソーシング#12539;サービスに対する関心も高まりつつある。