周期的に配置された円柱状突起による接触を考慮した弾性表面波モータの摩擦駆動モデル

摘要

シリコンスライダを用いた弾性表面波モータでは，スライダの接触面に配置された突起の直径や個数が駆動性能に大きく影響する．そのため，弾性表面波モータの駆動性能を向上させていくためには，これらの突起パラメータが与える影響を明らかにしていく必要がある．本研究では，ボールスライダにおいて有効性を確認した摩擦駆動モデルをシリコンスライダを用いた弾性表面波モータへ適用し，突起パラメータが駆動性能に与える影響を考慮したモデルの構築を行う．そして，実験結果との比較から構築したモデルの妥当性を検討する．