CuAlS_2：Mn導電性蛍光体薄膜の発光特性及び電気的特性

摘要

電子線蒸着法によりCuAlS_2：Mn蛍光体薄膜を作製した。基板温度600℃で作製した薄膜は結晶性に優れ、強い橙色フォトルミネッセンス（PL）発光を示した。この薄膜は抵抗率約1Φ·cmと良導電性を有している。Siの添加により更なる結晶性とPL特性の改善も確認した。Siの役割として、格子ひずみの緩和や電荷補償等が考えられる。またカソードルミネッセンス（CL）特性を評価し、加速電圧6kV、電流密度30μA／cm~2において輝度280cd／m~2、発光効率0.51m／Wを得た。