レンズを用いたファイバアレイ結合による光RAM用メモリ素子の高密度集積化に関する予備的検討

摘要

ファイバアレイとの光結合は、光RAM用の集積メモリ素子の実用化において重要である。特に我々は、ファイバアレイピッチ間隔の数分の1程度に素子出力ポートを狭間隔設定することによる、一層の高密度集積の可能性を検討しており、出力ポートを狭間隔化しながらも、通常のピッチ間隔を有するファイバアレイへの光結合方法が課題であった。そこで我々は、ファイバアレイ前段に2枚レンズを挿入し、ビーム間隔を広げることによる、高密度集積素子に対するファイバアレイとの光結合を検討している。今回は予備的検討として、ピッチ間隔300μmの2ビット集積素子に対して、結像倍率が3倍となるよう前段レンズを挿入し、所望のビーム間隔が実際に得られるかを検討した。その結果、3倍のビーム間隔に相当するビーム間隔900μmが得られ、高密度集積化技術としての有用性を確認したので報告する。