ウイスパリングギャラリーモード共振器を用いたミリ波複素誘電率測定法の精度に関する検討

摘要

先にミリ波帯における低損失誘電体材料の複素誘電率測定法として，ウイスパリングギャラリーモード共振器法を提案した．この測定法は，生ずる共振モードの周波数間隔の変化に着目して比誘電率の値を得ている．その際，測定共振モードの周方向モード次数を特に特定する必要なく比誘電率を求めることができた．しかし，共振周波数間隔の測定精度は共振周波数の測定精度より劣化するので，算定される比誘電率値の測定精度は必然的に制限される．更なる測定精度の向上を実現するためには，各共振モードを特定し共振周波数ごとにその材料の比誘電率の値を特定できる測定法が必要である．本論文では各共振周波数に対して共振モードの周方向次数を判別する方法を提案し，実際に共振モードを特定して複素誘電率測定を行った結果を示す．この結果測定精度を，比誘電率で1％以下，誘電正接で10％程度まで向上させることができた．