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Ion-induced formation of regular nanostructures on amorphous GaSb surfaces

机译:Ion-induced formation of regular nanostructures on amorphous GaSb surfaces

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摘要

Crystalline and amorphous GaSb surfaces are compared concerning their response to sputter erosion with low energy Ar~(+) ions under normal incidence. We show that the formation of regular nanostructures on GaSb is basically independent of whether the initial material is crystalline or amorphous. The similarity in the temporal and spatial evolution demonstrates that the dynamics of the morphology evolution is entirely controlled by a thin amorphous surface layer.

著录项

  • 来源
    《Applied physics letters》 |2002年第1期|130-132|共3页
  • 作者单位

    Lehrstuhl und Institut fuer Halbleitertechnik, RWTH Aachen, Sommerfeldstr. 24, 52056 Aachen, Germany;

    rovidence.org;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 英语
  • 中图分类 应用物理学;
  • 关键词

  • 入库时间 2024-01-29 17:09:24
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