有機電気光学ポリマーの高機能化と光変調器構造の作製

摘要

有機電気光学（EO）ポリマーは、無機材料を凌駕するEO効果と低い誘電率から、100GHzを超える超高速の光変調や低電圧駆動の高速光スイッチなどの光導波路デバイスや無機光回路とのハイブリッド化への応用が注目されている。しかし、溶媒耐性やポーリング効率などの問題から、これまで実用的なデバイス作製の報告は限られている。我々は、高いEO効果を示す分子を開発するとともに、溶媒耐性を有したデバイス作製に好適なポリマーの開発に成功した。この有機EOポリマーは、可溶でスピンコーティング可能でありながら成膜後にはUV照射により溶媒耐性となる。これにより、ポリマーの積層が可能となり、階層スイッチなどの立体的なEOデバイス作製への新たな展開も可能となった。本稿では、我々が開発した高機能有機EO ポリマーの特性と、それを用いた光変調器構造の作製プロセスについて報告する。