Yee格子に基づくビーム伝搬法による多層薄膜導波路の解析

摘要

Yee格子に基づくビーム伝搬法を用いて多層薄膜導波路を解析する。始めに,虚軸法を適用した固有モード解析により,多層薄膜導波路の複屈折率性を明示する。 次に,この特徴を生かし,2本の多層薄膜導波路を用いた偏波スプリッタを提案する。デバイス長を270μmに選んだとき,クロストークが,準TEモードで-33.5dB,準TMモードで-20.7dB であることを明らかにする。