17インチフラットパネルX線センサの低ノイズ設計

摘要

大きな視野サイズを持つフラットパネルX線センサめ開発課題として，検出器のノイズ低減がある。 透視可能なS/N特性を実現するために，9インチセンサの開発実績をもとにしてモデル計算によりノイズの支配要因を解析し，読出し回路の低ノイズ化を図った。今回開発したセンサは，視野サイズ43cm × 43cm，画素ピッチが150μm，X線変換勝としてはアモルファス·セレニウム(a-Se)を用いており，その膜厚は約1000μmである。 透視可能な検出器としては世界最大サイズの検出器であり，9インチと同等以上の画質であることを確認した。