バイオナノコアを活用した金属誘起固相成長による多結晶シリコン薄膜形成

摘要

フェリチンタンパクに内包された極微量金属を核に用いた固相成長による多結晶シリコン薄膜の低温形成技術を開発した。 コアを形成しているNi原子を核として、非晶質シリコン薄膜の熱処理を行い550℃の低温での結晶化を実現した。 X線回折法(XRD)により配向性を評価すると同時に、後方散乱電子線回折(EBSD)マッピングから、平均粒径の核密度依存性を評価し最大で平均3ミクロン程度の結晶化膜が得られたことがわかった。 本結晶化法は、従来法に比較して1桁以上低いNi不純物濃度が実現でき、次世代ディスプレイ用などのシリコン結晶薄膜の低温作成法として有望である。