ヘテロジニアス技術による高速InP-PD集積型石英系PLCデバイス

摘要

偏波多重·多値位相変調を用いた次世代大容量光通信方式で必要となる高機能光デバイスを実現するため，低損失性や偏波·位相制御性に優れた石英系平面光波回路（PLC）とフォトダイオード（PD）等の光半導体素子の集積化技術を検討している．今回，ヘテロジニアス集積技術を用いてInP系高速PDを石英系PLC上に集積した受光デバイスを作製し，低損失（PLC-PD間結合損失：0.8dB）かつ高速（f_ (3dB): 26.5GHz）な受光特性を実現した．さらに，90°光ハイブリッドと4ch-PDを集積したQPSK信号用受信器を作製し，全4chの結合損失や周波数応答の均一性評価，及び，2×28Gbps-QPSK信号の受信特性評価を行い，本集積化技術のフィージビリティ確認に成功したので，その内容を報告する．