MEMSミラーモジュールの開発

摘要

インターネット·トラヒックの増大に伴い，光通信ネットワークの整備が焦眉の急となっている。特にアクセス系においては，トランスペラントな通信形態実現のキーコンポーネントとして光スイッチか注目されている。 光スイッチとしては，機械式，液晶式，導波路式及びMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)方式などが存在する。 当社では，MEMS技術による光スイッチ向けミラー·モジュールの開発を実施した。 本報では，独自のSOI-MEMS技術をヘースとして得られたミラーモジュールについて，その製造手法，動作特性等を紹介する。