ナノチャネル酸化チタン薄膜トランジスタの試作と評価

摘要

近年、酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタや各種センサの研究が進められている。TiO_2は透明性を持ったn型半導体であり、光触媒活性や官能基修飾による吸着物質の制御、高い生体親和性という特性を持つことから、紫外光センサ、ガスセンサ、バイオセンサへの応用が期待されます。本研究では、室温原子堆積法を用いたナノチャネル酸化チタン薄膜トランジスタの作製プロセスを確立した。また、作製したTiO_2-TFTは紫外光照射時に顕著な出力電流の増加が確認され、6022量子効率相当を達成した。TFTは大気中と真空中で電気的特性が変化することを確認した。大気中と真空中での電界効果移動度の変化量はTiO_2の膜厚に依存し、膜厚が薄くなるほど変化量が増加することを確認した