SEC/N中古装置市場での取り組みECI，ソフトリライセンス，デコンタミよりアカデミックな活動にも積極的

摘要

SEC/N（Surplus Equipment Consortium Network）は米国SEMATECHの発意のもと98年に設立された。 現在の会員数は約40社，Applied MaterialsのGary Robertson氏が社長を務めている。同団体は，半導体中古装置のデータ交換の場として活動を進めるとともに，デ#12539;コンタミネーションやソフトウェア#12539;リライセンスの問題にも積極的に取り組んでいる。 今回は，SEC/Nの活動状況を中心に，中古装置市場が直面している問題点にフォーカスし，SEC/N日本地域での幹事会社を務める住商リース電子デバイス設備部 部長の西河哲也氏に話しをお伺いした。